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给出不单独设置粗抽管道、不设置高真空阀门的涡轮分子泵抽气系统，这个系统的真空室是直接通过涡轮分子泵进行粗抽的。因为系统上没有粗抽管道，所以就不存在因粗抽管道而带来的污染和切换区域不适当等问题。从结构上看，系统也变得更简单了。它没有粗抽阀、管道和冷阱，也不需要高真空阀，只需要一个电离规和一个热传导规。

每当打开真空室暴露大气时，就必须把整个系统停机，而后再重新启动。这就使得液氮冷却表面使用起来不方便，因为每当系统停机时，必须将冷却表面升温。1-检漏接口阀；2-涡轮分子泵；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-真空管路阀；7-电磁放气阀；8-机械泵。图2  不用阀门的涡轮分子泵抽气系统同时，启动涡轮分子泵和机械泵，通过涡轮分子泵进行粗抽，必须正确选配前级机械泵。

如果机械泵的抽速小，它是不能在涡轮分子泵达到很大转速以前把真空室抽到过渡区的。当出现这种情况时，电动机的过流保护电路就会把涡轮分子泵关掉。抽速大小合适、运转适当的机械真空泵应该是在涡轮分子泵达到其额定转速的75%左右时就能把真空室抽到20~200Pa，这样也可防止机械泵油的返流。大多数涡轮分子泵所设计的启动加速时间为5~10min。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：

（1）抽速与转速的关系抽速与转速之间的关系大致为S（4-67）。其中：g是由几何形状决定的常数；u是活动刀片的转速。随着速度的增加，泵送速度比直线略慢。这可以通过在抽速较高时对进气管电导率的限制来解释。根据（4-66），随着S1的增加，S将偏离直线。

（2）泵送速度与入口压力之间的关系在分子流的压力范围内，分子泵的泵送速度几乎没有变化。因为分子电导C与分子流动过程中的压力无关；根据公式（4-65），S1仅确定叶片形状，速度和气体类型，并且与压力无关。因此，根据公式（4-66），实际抽速与压力无关。但是，当增加压力以不满足分子流动条件（大约2×101Pa）时，由于大多数分子无法直接与叶片碰撞，因此泵速会迅速降低。如图4-62的右侧所示，曲线1、2和3对应于压缩比与不同前级泵

（3）的速度和相对分子质量之间的关系。压缩比与速度的平方根和相对分子质量成指数关系（G（4-68在公式中，G是由几何形状确定的参数。测量结果与公式基本一致。图4-63显示压缩比，其中：p代表前级泵端口的压力和力，代表分子，泵的入口压力，在相同速度下，大的气体分子具有大的压缩比，高的极限真空，轻质气体成分，压缩比小，极限真空低，即轻质分子主要处于分子泵的极限真空中；除去氢，氦等轻质分子的能力较弱。重量具有较高的压缩比，这是涡轮分子泵可用于获得清洁真空的物理基础

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随着各应用领域技术要求的不断提高，在涡轮分子泵系列方面持续开发，拥有抽速介于10到超过3000升/秒的完整涡轮分子泵产品系列，具有很高的和灵活的安装方式，从而使得各类应用，比如分析仪器、半导体、光学/玻璃、冶金、泄漏检测、科研设施、灯具等行业，都能找到与之匹配的订制产品型号。

尤其是此次推出的涡轮分子泵，使用了技术，特别适用于对振动敏感的应用。该技术能更有效地测试涡轮分子泵转子的平衡性能，确保了在这一领域的技术优势，并且为该公司的下一步发展提供了技术前瞻。所有的生物分子泵都是自催化系统，通过利用其催化分解化学燃料所释放的能量来维持细胞的生命活动。迄今为止已经报道了一些人工分子泵，但它们都是以光为驱动力燃料，或需要连续添加试剂或改变电势来维持运行。

在此，作者报道了一种催化驱动的人工分子泵，在“燃料”的存在下，能连续地将冠醚大环化合物从溶液中“串”到分子轴上，且不需要进一步的干预。只要有未反应完的“燃料”的存在，该过程就能一直进行。燃料全部消耗完后，冠醚会从不平衡的[4]轮烷上脱落，体系转变成很低能量的起始离散状态。该工作利用催化作用来驱动人工分子泵，在催化和分子机械层面开辟了新的研究方向。

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